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离心式加湿器在无尘车间的作用
日期:[2018/3/28 16:02:39]   共阅[822]次

  离心式加湿器在无尘车间的作用,湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件,相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

离心式加湿器

  相对湿度有一系列可能使洁净室总体表现下降的因素,其中包括:

  1、细菌生长;

  2、工作人员感到室温舒适的范围;

  3、出现静电荷;

  4、金属腐蚀;

  5、水汽冷凝;

  6、光刻的退化;

  7、吸水性。

  细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。

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